Intel áp dụng máy EUV High NA thế hệ mới từ ASML trong sản xuất chip laptop

Quá trình thử nghiệm máy móc này đã bắt đầu từ năm 2024 và hiện Intel đang sử dụng thiết bị này để in các lớp mạch cụ thể trên chip Panther Lake. Việc triển khai máy High NA cho phép Intel nâng cao khả năng thu thập dữ liệu vận hành và tối ưu hóa quy trình sản xuất nhằm chuẩn bị cho các bước phát triển chip có kích thước tính bằng nguyên tử trong tương lai.

Giá trị và thách thức kỹ thuật của máy EUV High NA

Máy EUV High NA vốn có chi phí khoảng 400 triệu USD, gấp đôi chi phí của máy EUV tiêu chuẩn. Đây cũng là thiết bị rất phức tạp, đòi hỏi sự chuẩn bị kỹ thuật cao để tích hợp hiệu quả vào dây chuyền sản xuất hàng loạt. Do đó, ngành bán dẫn đang nghiên cứu thời điểm triển khai hiệu quả cả về kinh tế và kỹ thuật để ứng dụng rộng rãi công nghệ này.